三维表面测量仪是用于测量三维几何尺寸和形位公差的高精度测量仪器。它克服了传统投影仪和二维影像测量的不足，是集光学、机械、电子、计算机图像处理技术于一体的高精度、率、高可靠性的测量仪器。可地检测各种复杂精密零部件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置，全自动地进行微观检测与质量控制。

　　三维表面测量仪的测量系统运用了PCB抄板技术研制而成，它采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个的、价格合理的计量方案。

　　三维表面测量仪广泛应用于汽车、电子、五金、塑胶、模具等行业中，可以对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，从而完成零件检测、外形测量、过程控制等任务。

　　三维表面测量仪的全自动测量过程中优异的影像识别能力使得全自动测量成为可能。批量的产品数百数据可以通过按一个按钮实现自动测量和自动输出结果，改变传统的依靠经验的手动测量方式，使自动测量的重复性控制在微米级，极大程度地提高检测水平，促进制造品质的提高。

　　可以加装激光、探针、转台等传感器，实现一个坐标系下的多元传感的综合应用，提供了复杂测量难题的解决方案。

　　使用冷光源系统，可以避免容易变形的工件在测量是因为热变形所产生的误差，并避免了由于碰触引起的变形。

　　工件可以随意放置，不需找正。不受零件表面纹理和材质影响的高度方向的精密测量，实现真正的非接触式的3D测量。使得微细制造的零件在测量高度、平面度及空间角度等位置关系方面成为可能，并且具有高可靠性的测量准确性和重复性。